管状加热器，控制单元，热电偶，温度计，喷嘴等

S5201/ 1，S5202/ 1 (LT-25)，S5210/ 1 (LS 1)，S5221/ 1 (WTD-35/M)，S3600/ 1 (CPR)，S3640/ 1，S3604/ 1 (CDC)，S6201/ … (BOX…)，S1150/...(SLM …)，S1152/...(TLM …)，S1160/...(SLPM …)，S1170/...(TLR ...)，S1171/...(SLRM …)